激发光源是原子发射光谱仪中一个极为重要的组成部分，它的作用是给分析试样提供蒸发、原子化或激发的能量。
在光谱分析时，试样的蒸发、原子化和激发之间没有明显的界限，这些过程几乎是同时进行的，而这一系列过程均直接影响谱线的发射以及光谱线的强度。
试样中组份元素的蒸发、离解、激发、电离、谱线的发射及光谱线强度除了与试样成份的熔点、沸点、原子量、化学反应、化合物的离解能、元素的电离能、激发能、原子(离子)的能级等物理和化学性质有关以外，还跟所使用的光源特性密切相关，不同的激发光源对各类样品、各种元素具有不同的蒸发行为和激发能量，因此要根据不同的分析对象，选择具有相应特性的激发光源。
由于样品的种类繁多、形状各异、元素对象、浓度、蒸发及激发难易不同，对光源的要求也不同。没有一种万能光源能同时满足各种分析对象的要求。
各类光源在蒸发温度、激发温度、放电稳定性等各方面都各有其特点和应用范围。
原子发射光谱分析的误差，主要来源是光源，因此在选择光源是应尽量满足以下要求：
1) 高灵敏度，随着样品中浓度微小变化，其检出的信号有较大的变化;
2) 低检出限，能对微量和痕量成份进行检测;
3) 良好的稳定性，试样能稳定地蒸发、原子化和激发，分析结果具有较高的精密度;
4) 谱线强度与背景强度之比大(信噪比大);
5) 分析速度快;
6) 结构简单，容易操作，安全;
7) 自吸收效应小，校准曲线的线性范围宽。
原子发射光谱仪的类型，目前常用的光源有以下两种：一类是经典光源(电弧及火花)，另一类是等离子体及辉光放电光源，其中以电感耦合等离子体光源(ICP)居多，在不同的领域中得到广泛的应用。
