FAB是指半导体制造的工厂，目检灯是指用于半导体材料表面缺陷或者晶圆缺陷检测的设备。在半导体制造的环境中（FAB），黄绿光表面检查灯是专门用于玻璃、晶圆灯材料的表面缺陷检查工具。
FAB场景下和其中核心技术上的细节上的应用特别之处：
一、设计要求和核心技术
波长选择和光学原理
滤光设计：经过特别定制的滤光片，比如黄色滤光片。筛选过滤蓝光和紫外线。避开对光敏材料干扰，比如光刻胶等。
黄绿光的特点：波长范围在510-600纳米之间。比如550纳米的纯绿光或者570-580纳米的复合型绿光。是介于人体眼睛敏感度的峰值范围里，那可以减少视觉疲惫，而且增加缺陷对比度。
光源性能参数
长寿命和冷光源
LED光源没有发热的问题，不会产生晶圆热变形情况。那么LED灯珠寿命可达3000小时以上，从而降低成本。
均匀性和高亮度
为确保1μm以下的微尘和划痕的可见度，照度可以达到30-40万LUX。
洁净室的兼容性
防静电措施：灯体接地设计，比如金属外壳需要接地。采用防静电材料或者导电涂层，比如碳填充塑料的方式避开静电吸附灰尘，符合GB50611标准。
无尘的设计：灯体采用光滑表面的材料，比如ABS防静电塑料。没有孔隙的结构，阻止积累灰尘。
二、FAB场景下的应用特点：
检测缺陷的能力
高分辨率： 可以识别1微米以下的划痕，颗粒。比如晶圆表面的错位滑移线，配合腐蚀工艺，比如硝酸-氢氟酸混合液以后，用目检灯可以清楚定位到缺陷为止。
适用多场景性：
除了晶圆以外，还能检测汽车玻璃、液晶玻璃等表面的凹凸缺陷、油墨残留于。而且支持不同情况，比如清洗后、蚀刻的在线检测。
和自动化检测的协同
灯光参数的优化：有些AOI设备，采用RGB三色光源，但是黄绿光目检灯的单色高对比度特点无法替代，特别是在检测透明材料的时候可以避开色偏干扰。
辅助AOI设备:
人工复核工具：目检灯。可以校验自动光学检测，AOI设备如果出现漏检或者是错误判断的时候，比如，在极耳翻折检测里，人工目检可以补充智能算法的局限性。
操作规范和合规性
人员操作要求：灯检工作人员需要定期进行视力检查，矫正视力大于等于5.0。而且在黑暗环境里适应5分钟以上的对比度识别能力和提升。
照度标准：FAB中灯检照度大于等于2000LUX，而黄绿光目检灯实际照度一般远超这个要求，确保检测的可靠性。
FAB缺陷黄绿光表面目检灯品牌推荐：
路阳 LUYOR-3325GD 手持式黄绿光表面检查灯：
采用大功率的LED灯珠， 36W。570-580纳米黄绿光，桌面和便携双模式，适用于晶圆颗粒及划痕检测。
光斑均匀，产品轻便，内置锂电池。可以手持着检查产品表面的颗粒物、划痕、手印等产品缺陷，也可以配合台式支架作为台式表面检查灯进行长时间检查。
坚固耐用、维护成本低的便携式黄绿光表面检查灯LUYOR-3325GD进行光学晶圆检测，与 100 瓦高压汞灯相比，具有以下优势：
轻便：没有繁重电源箱，手持操作，方便快捷。
省时：即可即用，无需等待。
经济：光源寿命长达50000小时，无须频繁更换灯泡。
光斑均匀，检查效率高，减少漏检。
安全：长时间运行，不发烫，没有烫伤危险。
高效：led光源，发光效率高，节省能源。
光谱纯正：不会产生紫外线。
FAB缺陷黄绿光表面目检灯的颗粒检测:减少晶圆生产/半导体生产中的污染 除了晶圆检测过程中的目视表面检测，即通过黄光灯或绿光灯进行部分自动化的晶圆检测外，许多半导体制造商还有进一步的要求： 使用测试灯检查系统中的颗粒污染 使用黄光表面检查灯或UV-LED紫外线灯进行粒子检测 晶圆生产过程中洁净室中质量控制的颗粒检查 搜索并查找用于清洁半导体生产中机器的颗粒 在持续的质量控制过程中清洁和保持生产设备的清洁 在大多数情况下，颗粒检测只能通过人工检查进行，因此可以使用便携式黄绿光表面检查灯进行检测。
